Izvestiya of Saratov University.

Physics

ISSN 1817-3020 (Print)
ISSN 2542-193X (Online)

For citation:

Serdobintsev A. A., Venig S. B., Alexandrov V. A., Mitin D. M., Veselov A. G., Kiryasov O. A., Elmanov V. I. Formation of Modified Materials in Flows of Low-temperature Plasma. Izvestiya of Saratov University. Physics , 2013, vol. 13, iss. 2, pp. 47-50. DOI: 10.18500/1817-3020-2013-13-2-47-50

This is an open access article distributed under the terms of Creative Commons Attribution 4.0 International License (CC-BY 4.0).
Full text:
download
(downloads: 198)
Language: 
Russian
Heading: 
Proceedings of International Scientific Seminar
UDC: 
621.793; 621.039.624
DOI: 
10.18500/1817-3020-2013-13-2-47-50

Formation of Modified Materials in Flows of Low-temperature Plasma

Autors: 
Serdobintsev Aleksey Aleksandrovich, Saratov State University
Venig Sergey Borisovich, Saratov State University
Alexandrov Vladimir Alekseevich, Saratov State University
Mitin Dmitry Mikhailovich, Saratov State University
Veselov Alexander Georgievich, Saratov Branch of the Institute of RadioEngineering and Electronics of Russian Academy of Sciences
Kiryasov Olga Aleksandrovna, Saratov State University
Elmanov Vladimir Ivanovich, Saratov Branch of the Institute of RadioEngineering and Electronics of Russian Academy of Sciences
Abstract: 

In this paper the results of experimental studies are presented. The experiments were aimed to synthesis of materials with modified properties. A special technique of synthesis in low-temperature plasma flows allows controlling film material parameters. The possibility to control optical, morphological and electrophysical properties is shown by the examples of ZnO and Si films.

Key words: 
modified materials
low-temperature plasma
magnetron sputtering.
Reference: 
  1. Бурылин Е. И., Веселов А. А., Веселов А. Г., Джумалиев А. С., Иванов С. Н., Кирясова О. А. Образование молекул и кластеров оксида цинка в квазизамкнутом объеме реактивной газоразрядной плазмы // ПЖТФ. 2000. Т. 26, вып. 7, С. 31–34.
  2. Сердобинцев А. А, Веселов А. Г., Кирясова О. А. Свойства пленок оксида цинка, синтезированных в низкотемпературном плазменном разряде в условиях бомбардировки компонентами плазмы // ФТП. 2008. Т. 42, вып. 4. С. 496–499.
  3. Сердобинцев А. А., Бурылин Е. И., Веселов А. Г., Кирясова О. А., Джумалиев А. С. Показатель преломления и постоянная решетки пленок оксида цинка, модифицированных в низкотемпературной плазме // ЖТФ. 2008. Т. 78, вып. 3. С. 83–85.
  4. Вавилов В. Е., Кив А. Е., Ниязова О. Р. Механизмы образования и миграции дефектов в полупроводниках. М. : Наука, 1981. 368 с.
  • 1487 reads