Известия Саратовского университета.

Новая серия. Серия Физика

ISSN 1817-3020 (Print)
ISSN 2542-193X (Online)


Образец для цитирования:

Сердобинцев А. А., Вениг С. Б., Александров В. А., Митин Д. М., Веселов А. Г., Кирясова О. А., Елманов В. И. Формирование модифицированных материалов в потоках низкотемпературной плазмы //Известия Саратовского университета. Новая серия. Серия Физика. 2013. Т. 13, вып. 2. С. 47-50. DOI: https://doi.org/10.18500/1817-3020-2013-13-2-47-50

Язык публикации: 
русский
УДК: 
621.793; 621.039.624

Формирование модифицированных материалов в потоках низкотемпературной плазмы

Авторы: 
Сердобинцев Алексей Александрович, Саратовский государственный университет имени Н. Г. Чернышевского
Вениг Сергей Борисович, Саратовский государственный университет имени Н. Г. Чернышевского
Александров Владимир Алексеевич, Саратовский государственный университет имени Н. Г. Чернышевского
Митин Дмитрий Михайлович, Саратовский государственный университет имени Н. Г. Чернышевского
Веселов Александр Георгиевич, Институт радиотехники и электроники им. В. А. Котельникова РАН, Саратовский филиал
Кирясова Ольга Александровна, Саратовский государственный университет имени Н. Г. Чернышевского
Елманов Владимир Иванович, Институт радиотехники и электроники им. В. А. Котельникова РАН, Саратовский филиал
Аннотация: 

В работе приводятся результаты экспериментальных исследований, направленных на получение материалов с модифицированными свойствами. Разработанная методика синтеза в потоках низкотемпературной плазмы позволяет эффективно управлять параметрами плёночных материалов. На примере ZnO и Si показана возможность управления оптическими, морфологическими и электрофизическими свойствами плёночных материалов.

DOI: 
10.18500/1817-3020-2013-13-2-47-50
Библиографический список: 
  1. Бурылин Е. И., Веселов А. А., Веселов А. Г., Джумалиев А. С., Иванов С. Н., Кирясова О. А. Образование молекул и кластеров оксида цинка в квазизамкнутом объеме реактивной газоразрядной плазмы // ПЖТФ. 2000. Т. 26, вып. 7, С. 31–34.
  2. Сердобинцев А. А, Веселов А. Г., Кирясова О. А. Свойства пленок оксида цинка, синтезированных в низкотемпературном плазменном разряде в условиях бомбардировки компонентами плазмы // ФТП. 2008. Т. 42, вып. 4. С. 496–499.
  3. Сердобинцев А. А., Бурылин Е. И., Веселов А. Г., Кирясова О. А., Джумалиев А. С. Показатель преломления и постоянная решетки пленок оксида цинка, модифицированных в низкотемпературной плазме // ЖТФ. 2008. Т. 78, вып. 3. С. 83–85.
  4. Вавилов В. Е., Кив А. Е., Ниязова О. Р. Механизмы образования и миграции дефектов в полупроводниках. М. : Наука, 1981. 368 с.
Полный текст в формате PDF(Ru):
(загрузок: 13)