Известия Саратовского университета.

Новая серия. Серия Физика

ISSN 1817-3020 (Print)

ISSN 2542-193X (Online)

металл–диэлектрик–полупроводник

Влияние плазмохимической модификации поверхности на поперечный электронный транспорт и вольт-амперные характеристики кремниевых структур металл–диэлектрик–полупроводник