Известия Саратовского университета.
ISSN 1817-3020 (Print)
ISSN 2542-193X (Online)


low-temperature plasma

Формирование модифицированных материалов в потоках низкотемпературной плазмы

В работе приводятся результаты экспериментальных исследований, направленных на получение материалов с модифицированными свойствами. Разработанная методика синтеза в потоках низкотемпературной плазмы позволяет эффективно управлять параметрами плёночных материалов. На примере ZnO и Si показана возможность управления оптическими, морфологическими и электрофизическими свойствами плёночных материалов.