Известия Саратовского университета.
ISSN 1817-3020 (Print)
ISSN 2542-193X (Online)


вакуумно-плазменное технологическое оборудование

Неравновесная СВЧ-плазма низкого давления в научных исследованиях и разработках микро- и наноэлектроники

Рассмотрены достоинства и преимущества использования для реализации нанотехнологий высокоионизованной низкоэнерге- тичной СВЧ-плазмы низкого давления. Показано, что по своим функциональным возможностям одна установка на основе СВЧ- плазмы может заменить 4–5 установок с обычным высокочастот- ным возбуждением газового разряда.