Известия Саратовского университета.
ISSN 1817-3020 (Print)
ISSN 2542-193X (Online)


пористый кремний

Влияние малых доз гамма-излучения на оптические свойства наноструктурированного кремния, полученного методом металл-стимулированного химического травления in situ

Исследованы оптические и структурные свойства образцов пористого кремния, полученных методом металл-стимулированного химического травления при облучении малыми дозами γ-квантов непосредственно в процессе его формирования in situ. Контроль in situ образцов указывает на влияние не только дозы облучения образующегося слоя на величину полного отражения, но и дозы предварительного облучения подложки.

Влияние малых доз гамма-излучения на оптические свойства наноструктурированного кремния, полученного методом металл стимулированного химического травления in situ

Исследованы оптические и структурные свойства образцов пористого кремния, полученных методом металл-стимулированного химического травления при облучении малыми дозами γ-квантов непосредственно в процессе его формирования in situ. Контроль in situ образцов указывает на влияние не только дозы облучения образующегося слоя на величину полного отражения, но и дозы предварительного облучения подложки.

Формирование слоев наноструктурированного пористого кремния при облучении малыми дозами γ-радиации

Приводятся результаты экспериментального исследования формирования структур нанопористого Si (SiNР) методом металл стимулированного химического травления при облучении малыми дозами γ-радиации непосредственно в процессе получения (in situ). Показано, что радиационное излучение приводит к увеличению кристаллизации структур SiNР, полученных на предварительно облученных подложках, и может быть связано с понижением исходной дефектности подложки кремния.