Известия Саратовского университета.
ISSN 1817-3020 (Print)
ISSN 2542-193X (Online)


нанопрофилометрия

Измерения наносмещений частотно-модулированным лазерным автодином

В работе представлен метод измерения наносмещений отражающей поверхности при частотной модуляции лазерного автодина по треугольному закону. Рассматривается случай учета изменения фазы во внешнем резонаторе лазерного автодина и спектрального представления автодинного сигнала.

ИЗМЕРЕНИЯ НАНОСМЕЩЕНИЙ ЧАСТОТНО-МОДУЛИРОВАННЫМ ЛАЗЕРНЫМ АВТОДИНОМ

В работе анализируется автодинный интерференционный метод измерения рельефа поверхности при треугольной модуляции длины волны лазерного излучения. Рассматривается случай многочастотной интерферометрии с учетом изменения стационарной фазы автодина и его спектрального представления в области равнофазных расстояний. Получена линейная зависимость амплитуд спектральных составляющих от величины профиля поверхности и определены условия достижения наибольшего разрешения.