Известия Саратовского университета.

Новая серия. Серия Физика

ISSN 1817-3020 (Print)
ISSN 2542-193X (Online)


Для цитирования:

Вениг С. Б., Махди О. С., Маляр И. В., Синёв И. В., Смирнов А. В., Кисин В. В. Морфология тонких пленок диоксида олова, обладающих газочувствительностью при температуре, близкой к комнатной // Известия Саратовского университета. Новая серия. Серия: Физика. 2015. Т. 15, вып. 4. С. 17-21. DOI: 10.18500/1817-3020-2015-15-4-17-21

Статья опубликована на условиях лицензии Creative Commons Attribution 4.0 International (CC-BY 4.0).
Полный текст в формате PDF(Ru):
(загрузок: 171)
Язык публикации: 
русский
Рубрика: 
УДК: 
УДК 539.23, 539.25, 681.586

Морфология тонких пленок диоксида олова, обладающих газочувствительностью при температуре, близкой к комнатной

Авторы: 
Вениг Сергей Борисович, Саратовский национальный исследовательский государственный университет имени Н. Г. Чернышевского
Махди Одай Салман, Саратовский национальный исследовательский государственный университет имени Н. Г. Чернышевского
Маляр Иван Владиславович, Саратовский национальный исследовательский государственный университет имени Н. Г. Чернышевского
Синёв Илья Владимирович, Саратовский национальный исследовательский государственный университет имени Н. Г. Чернышевского
Смирнов Андрей Владимирович, Саратовский национальный исследовательский государственный университет имени Н. Г. Чернышевского
Кисин Владимир Владимирович, Саратовский национальный исследовательский государственный университет имени Н. Г. Чернышевского
Аннотация: 

Методом реактивного высокочастотного магнетронного распыления были нанесены на кремниевые подложки тонкие плёнки диоксида олова, обладающие чувствительностью к парам этанола при температуре, близкой к комнатной (38°С). Измерения микроструктуры с помощью сканирующего электронного микроскопа и атомно-силового микроскопа показали, что полученные образцы состоят из зёрен, имеющих форму стержней с нанометровым поперечным размером, ориентированных по нормали к поверхности подложки. Между зёрнами располагаются поры, пронизывающие плёнку на всю толщину.

Список источников: 
  1. Comini E., Baratto C., Concina I., Faglia G., Falasconi M., Ferroni M., Galstyan V., Gobbi E., Ponzoni A., Vomiero A., Zappa D., Sberveglieri V., Sberveglieri G. Metal oxide nanoscience and nanotechnology for chemical sensors // Sensors and Actuators B. 2013. Vol. 179. P. 3–20.
  2. Pearce T. C., Schiffman S. S., Nagle H. T., Gardner J. W. Handbook of Machine Olfaction : Electronic Nose Technology. Weinheim : Wiley-VCH, 2003.
  3. Rembeza S. I., Rembera S. I., Rembera E. S., Svistova T. V., Borsiakova O. I. Electrical resistivity and gas response mechanisms of nanocrystalline SnO2 fi lms in a wide temperature range // Physica Status Solidi (a). 2000. Vol. 179, № 1. С. 147–152.
  4. Wang S., Wang Z., Liu X., Zhang L. DC and AC response of SnO2 sensor to CO // Sensors and Actuators B. 2008. Vol. 131. P. 318–322.
  5. Betty C. A., Choudhury S., Girija K. G. Reliability studies of highly sensitive and specifi c multi-gas sensor based on nanocrystalline SnO2 fi lm // Sensors and Actuators B. 2014. Vol. 193. P. 484– 491.
  6. Kissine V. V., Sysoev V. V., Voroshilov S. A. Conductivity of SnO2 thin fi lms in the presence of surface adsorbed species // Sensors and Actuators B : Chemical. 2001. Vol. 79, № 2. P. 163–170.
  7. Сысоев В. В., Кучеренко Н. И., Кисин В. В. Текстурированные пленки оксида олова для микросистем распознавания газов // Письма в ЖТФ. 2004. Т. 30, № 18. С. 14–20.
Краткое содержание:
(загрузок: 105)