Для цитирования:
Сучков С. Г., Чайковский Д. С. Влияние слоистой структуры электродов на характеристики устройств на поверхностных акустических волнах // Известия Саратовского университета. Новая серия. Серия: Физика. 2007. Т. 7, вып. 1. С. 26-31. DOI: 10.18500/1817-3020-2007-7-1-26-31
Влияние слоистой структуры электродов на характеристики устройств на поверхностных акустических волнах
На характеристики устройств на поверхностных акустических волнах (ПАВ) в СВЧ-диапазоне оказывают влияние не только толщина и упругие свойства тонкой алюминиевой плёнки электродов, но и свойства нанометрового адгезионного подслоя. Исследовано влияние толщины подслоя хрома и ванадия на термостабильность одноповоротных Y-срезов кварца для частот 1 и 2 ГГц, а также на коэффициент отражения ПАВ от краев электродов встречно-штыревого преобразователя, причем были найдены такие толщины алюминия и хрома в двухслойных электродах, при которых коэффициент отражения равен нулю
- Морган Д. Устройства обработки сигналов на поверхностных акустических волнах: М.: Радио и связь, 1990. 414 с.
- Сучков С.Г. К вопросу о термостабильности устройств на поверхностных акустических волнах в СВЧ-диапазоне // Радиотехника и электроника. 2006. Т.51, №4. С.504−508.
- Henry-Briot Е., Ballandras S., Marianneau G., Martin G. Influence of Metal Thickness on Phase Velocity and Thermal Sensitivity of SAW Devices // IEEE Trans. on UFFC. 2001. Vol.48, №2. Р.538−546.
- Казачкова Т.И., Лазерсон А.Г., Сучков С.Г. Численный анализ распространения ПАВ в пьезокристаллах // Электронная техника. Сер.1. Электроника СВЧ. 1979. Вып.6. С.7−12.
- Сучков С.Г., Баринов Д.А. Анизотропия упругих свойств тонких металлических пленок и её влияние на характеристики устройств на ПАВ // Радиотехника и электроника. 2002. Т.47, №4. С.510−512.
- Гуляев Ю.В., Плесский В.П. Распространение поверхностных акустических волн в периодических структурах // Успехи физических наук. 1989. Т.157, вып.1. С.85−120.
- Datta S., Hunsinger B.J. An Analysis Energy Storage Effects on SAW Propagation in Periodic Arrays // IEEE Trans. on UFFC. 1980. Vol.27, №6. Р.333−341.
- 1050 просмотров