Для цитирования:
Сердобинцев А. А., Вениг С. Б., Александров В. А., Митин Д. М., Веселов А. Г., Кирясова О. А., Елманов В. И. Формирование модифицированных материалов в потоках низкотемпературной плазмы // Известия Саратовского университета. Новая серия. Серия: Физика. 2013. Т. 13, вып. 2. С. 47-50. DOI: 10.18500/1817-3020-2013-13-2-47-50
Статья опубликована на условиях лицензии Creative Commons Attribution 4.0 International (CC-BY 4.0).
Полный текст в формате PDF(Ru):
(загрузок: 157)
Язык публикации:
русский
УДК:
621.793; 621.039.624
Формирование модифицированных материалов в потоках низкотемпературной плазмы
Авторы:
Сердобинцев Алексей Александрович, Саратовский национальный исследовательский государственный университет имени Н. Г. Чернышевского
Вениг Сергей Борисович, Саратовский национальный исследовательский государственный университет имени Н. Г. Чернышевского
Александров Владимир Алексеевич, Саратовский национальный исследовательский государственный университет имени Н. Г. Чернышевского
Митин Дмитрий Михайлович, Саратовский национальный исследовательский государственный университет имени Н. Г. Чернышевского
Веселов Александр Георгиевич, Саратовский филиал Института радиотехники и электроники имени В. А. Котельникова РАН
Кирясова Ольга Александровна, Саратовский национальный исследовательский государственный университет имени Н. Г. Чернышевского
Елманов Владимир Иванович, Саратовский филиал Института радиотехники и электроники имени В. А. Котельникова РАН
Аннотация:
В работе приводятся результаты экспериментальных исследований, направленных на получение материалов с модифицированными свойствами. Разработанная методика синтеза в потоках низкотемпературной плазмы позволяет эффективно управлять параметрами плёночных материалов. На примере ZnO и Si показана возможность управления оптическими, морфологическими и электрофизическими свойствами плёночных материалов.
Список источников:
- Бурылин Е. И., Веселов А. А., Веселов А. Г., Джумалиев А. С., Иванов С. Н., Кирясова О. А. Образование молекул и кластеров оксида цинка в квазизамкнутом объеме реактивной газоразрядной плазмы // ПЖТФ. 2000. Т. 26, вып. 7, С. 31–34.
- Сердобинцев А. А, Веселов А. Г., Кирясова О. А. Свойства пленок оксида цинка, синтезированных в низкотемпературном плазменном разряде в условиях бомбардировки компонентами плазмы // ФТП. 2008. Т. 42, вып. 4. С. 496–499.
- Сердобинцев А. А., Бурылин Е. И., Веселов А. Г., Кирясова О. А., Джумалиев А. С. Показатель преломления и постоянная решетки пленок оксида цинка, модифицированных в низкотемпературной плазме // ЖТФ. 2008. Т. 78, вып. 3. С. 83–85.
- Вавилов В. Е., Кив А. Е., Ниязова О. Р. Механизмы образования и миграции дефектов в полупроводниках. М. : Наука, 1981. 368 с.
- 1255 просмотров